Nano-dispositifs à l’Observatoire de Paris

Il s’agit de donner tous les moyens à la centrale de technologie de l’Observatoire de Paris (CTOP) pour fabriquer des nano-dispositifs  : en particuliers des nano-bolomètres à électrons chauds supraconducteurs et des nano-jonctions SIS. Suite à la mise à niveau depuis plusieurs années de cette centrale  : acquisition d’un aligneur de masque pour photolithographie (2006), d’un microscope électronique à balayage (2009), et d’une machine de pulvérisation cathodique pour le dépôt de couches minces supraconductrices (2012) entre autre, il reste aujourd’hui un dernier élément important pour y parvenir  : un système de lithographie électronique. C’est l’objet de l’équipement que je propose. Notez que la CTOP appartient au réseau des centrales de proximité de Paris centre ainsi certains de ces équipements sont mutualisés au sein de ce réseau, pas exclusivement d’ailleurs.